陶瓷厚膜壓力變送器由壓力傳感器和信號(hào)處理轉(zhuǎn)換電路組成,根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求,兩者可做成分離型或一體結(jié)構(gòu)型。厚膜壓力傳感器的核心部件是陶瓷片上的厚膜電阻漿料(TFR),它以絲網(wǎng)印刷法印在Al2O3陶瓷彈性體上,再經(jīng)燒結(jié),裝配等工序制成。由于厚膜應(yīng)變電阻是用TFR漿料直接印燒在陶瓷彈性體上,應(yīng)變電阻和陶瓷彈性體能牢固地?zé)Y(jié)成一個(gè)整體,既滿足了耐溫、耐腐蝕要求,又避免了粘貼而引起的蠕變和遲滯。成品壓力傳感器由測(cè)壓敏感元件TFR、密封墊圈、本體座等組成隔離密封腔,測(cè)量壓力時(shí)由輸入接續(xù)口導(dǎo)人測(cè)壓容室,直接作用在隔離陶瓷片上,通過(guò)隔離陶瓷片產(chǎn)生應(yīng)變導(dǎo)致分布在其面上的厚膜漿料電阻發(fā)生物理變化,這種變化由惠斯登電橋檢出,然后進(jìn)行信號(hào)的綜合處理。
工作試驗(yàn)方法:
所謂厚膜壓阻效應(yīng)就是厚膜電阻漿料(TFR)受到應(yīng)力之后,其阻值大小發(fā)生明顯變化,即壓阻效應(yīng)。
現(xiàn)廣泛應(yīng)用的圓膜壓力傳感器,通常采用杯式結(jié)構(gòu),即在一片圓形的陶瓷上燒上一個(gè)環(huán)型陶瓷,形成杯底。因陶瓷片是一種**的彈性體,所以當(dāng)制成杯后,此圓形杯底就是一個(gè)相當(dāng)理想的周邊固緊的膜片。電橋的平衡狀態(tài)相應(yīng)變化,得到對(duì)應(yīng)于待測(cè)壓力信號(hào)的電信號(hào),從而實(shí)現(xiàn)壓力信號(hào)一電信號(hào)的轉(zhuǎn)化。
厚膜壓力變送器采用力敏材料為彈性**的陶瓷體,故傳感器具有良好的線性度、遲滯性及溫度性能{直接接觸各種介質(zhì)無(wú)需隔離;體積小、重量輕、耐震動(dòng)與沖擊、易安裝等特點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于煤氣壓力測(cè)量,低腐蝕程度的化學(xué)水壓力測(cè)量,容器液位測(cè)量以及振動(dòng)管道風(fēng)壓測(cè)量等領(lǐng)域。